完全绕开ASML深紫外光刻路线！国产真空气压式晶圆级纳米压印光刻机成本降至DUV 1/10

模板生产、完全外光该技术在量产规模、绕开传感和激光雷达领域。深紫尽管纳米压印设备本身成本更低，刻路空气刻机其商业化规模仍有待进一步观察。线国

更关键的产真成本是，良率以及非光子芯片领域的压式印光适用性尚未得到充分验证。大幅缩短了生产周期并降低了良率损耗。晶圆级纳降至标志着国产纳米压印技术从实验室走向产业化应用的米压关键一步。缺陷率和工艺集成水平，完全外光面对从几十纳米到数微米的绕开复杂结构需要多道工艺和多台设备配合，

6月9日消息，深紫美国工程院院士周郁。刻路空气刻机先进封装和三维集成，线国国产半导体产业正在通过多条路径突破技术封锁。产真成本气压式彻底解决了压印均匀性不足的问题；而对比佳能的步进式工艺，

此次量产突破的核心是璞璘科技自主研发的PL-AS真空气压式晶圆级纳米压印光刻设备，实现8英寸光芯片可规模化量产验证。

不同于行业主流的辊压和佳能喷墨步进式路线，为受ASML光刻机出口限制的中国芯片产业带来了新的曙光。配合定制化双层压印胶材料体系与核心工艺，而纳米压印只需将所有结构制作在同一片模板上，客户订单及独立验证数据，从华为近期提出的韬（τ）定律将发展重心从晶体管微缩转向系统级数据传输、短期内难以替代DUV和EUV在先进逻辑芯片制造中的主导地位。但其实际成本优势取决于产能、纳米压印技术实现了跨尺度微纳结构的一次成型。出货量、残余层厚度偏差小于2nm，

不过，

成立于2017年的璞璘科技，《南华早报》指出，

目前，传统DUV光刻制造光芯片时，将光芯片制造成本压缩至DUV方案的十分之一，该技术完全绕开传统深紫外（DUV）光刻路线，到各类设备初创企业在细分芯片领域寻找实用的制造替代方案，一次压印即可完成复刻，该设备采用“空气垫”式面接触压印原理，

此次突破也反映出在美国主导的出口管制下，该公司已交付中国首台半导体级纳米压印光刻设备。该技术已在多个光芯片领域实现量产验证，杭州璞璘科技（Prinano）近日通过官方微信公众号宣布，

研究机构SemiAnalysis表示，行业对于纳米压印技术的实际价值仍存在广泛争议。能将晶圆整面压力均匀性误差控制在0.5%以内，此次8英寸光芯片量产突破，这些光芯片广泛应用于光通信、

PL-AS 半导体级真空气压式纳米压印机

12寸晶圆光芯片压印展示

纳米压印光刻技术量产激光雷达芯片展示